主要參數(shù)
運動自由度
位移量 (μm±10%)
組成模塊
尺寸 A(mm)
尺寸 B(mm)
尺寸 C(mm)
MPT-3MNL010
X,Y,Z
10×10×10
MPT-1DNL010
58
61
91
MPT-3MNL025
25×25×25
MPT-1DNL025
60
81
112
MPT-3MNL050
50×50×50
MPT-1DNL050
64
111
144
MPT-3MNL100
100×100×100
MPT-1ANL100
121
152
MPT-3MNL200
200×200×200
MPT-1ANL200
141
182
MPT-3MRL010
MPT-1DRL010
MPT-3MRL025
MPT-1DRL025
MPT-3MRL050
MPT-1DRL050
MPT-3MRL100
MPT-1ARL100
MPT-3MRL200
MPT-1ARL200
開環(huán)工作臺匹配電源型號：HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺匹配電源型號：PPC-2CR0150
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組成模塊
尺寸 A(mm)
尺寸 B(mm)
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MPT-3MNL010
X,Y,Z
10×10×10
MPT-1DNL010
58
61
91
MPT-3MNL025
X,Y,Z
25×25×25
MPT-1DNL025
60
81
112
MPT-3MNL050
X,Y,Z
50×50×50
MPT-1DNL050
64
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MPT-3MNL100
X,Y,Z
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MPT-3MNL200
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61
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MPT-3MRL025
X,Y,Z
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X,Y,Z
50×50×50
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64
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X,Y,Z
100×100×100
MPT-1ARL100
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121
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MPT-3MRL200
X,Y,Z
200×200×200
MPT-1ARL200
60
141
182
開環(huán)工作臺匹配電源型號：HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺匹配電源型號：PPC-2CR0150