主要參數(shù)
MPT-1EN/RL050
MPT-1EN/RL100
MPT-1EN/RL200
運(yùn)動(dòng)自由度
X
行程范圍(μm±10%)
50
100
200
位移分辨率(nm)
5
10
20
重復(fù)定位精度(nm)
-/50
-/100
-/200
運(yùn)動(dòng)方向大推力(N)
300
運(yùn)動(dòng)方向大拉力(N)
大負(fù)載(Kg)
1.5
1
固有頻率(Hz)
750
450
150
重量(g±5%)
350
500
工作電壓(V)
0~150
工作溫度范圍(℃)
-20~80
外型尺寸 A×C(mm)
75×65
90×80
110×100
運(yùn)動(dòng)部分 B×D(mm)
30×24
45×37
65×53
運(yùn)動(dòng)部分 E (mm)
47.7
55.2
65.2
中空尺寸 F(mm)
18
29
41
外形尺寸 G×H(mm)
20×21
安裝尺寸 I×J(mm)
6×3.5
安裝尺寸 K
M2
M2.5
M3
開(kāi)環(huán)工作臺(tái)匹配電源型號(hào):HPV-1C0150A0500;閉環(huán)工作臺(tái)匹配電源型號(hào):PPC-1CR0150
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主要參數(shù)
MPT-1EN/RL050
MPT-1EN/RL100
MPT-1EN/RL200
運(yùn)動(dòng)自由度
X
X
X
行程范圍(μm±10%)
50
100
200
位移分辨率(nm)
5
10
20
重復(fù)定位精度(nm)
-/50
-/100
-/200
運(yùn)動(dòng)方向大推力(N)
300
300
300
運(yùn)動(dòng)方向大拉力(N)
50
50
50
大負(fù)載(Kg)
1.5
1.5
1
固有頻率(Hz)
750
450
150
重量(g±5%)
200
350
500
工作電壓(V)
0~150
0~150
0~150
工作溫度范圍(℃)
-20~80
-20~80
-20~80
外型尺寸 A×C(mm)
75×65
90×80
110×100
運(yùn)動(dòng)部分 B×D(mm)
30×24
45×37
65×53
運(yùn)動(dòng)部分 E (mm)
47.7
55.2
65.2
中空尺寸 F(mm)
18
29
41
外形尺寸 G×H(mm)
20×21
20×21
20×21
安裝尺寸 I×J(mm)
6×3.5
6×3.5
6×3.5
安裝尺寸 K
M2
M2.5
M3
開(kāi)環(huán)工作臺(tái)匹配電源型號(hào):HPV-1C0150A0500;閉環(huán)工作臺(tái)匹配電源型號(hào):PPC-1CR0150