一維直驅(qū)式工作臺(tái)
該系列微動(dòng)工作臺(tái)通過(guò)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)無(wú)間隙無(wú)耦合的微位移傳動(dòng),具有沿X軸方向的一維運(yùn)動(dòng),行程從10μm至50μm。該系列微動(dòng)臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制,并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動(dòng)臺(tái)
主要參數(shù) (nm)
MPT-1DN/RL010
MPT-1DN/RL025
MPT-1DN/RL050
運(yùn)動(dòng)自由度
X
行程范圍 (μm±10%)
10
25
50
位移分辨率 (nm)
1
2.5
5
重復(fù)定位精度 (nm)
-/10
-/25
-/50
運(yùn)動(dòng)方向大推力 (N)
1000
運(yùn)動(dòng)方向大拉力 (N)
30
70
100
大負(fù)載 (Kg)
1.5
固有頻率 (Hz)
1450
900
400
重量 (g±5%)
200
280
700
工作電壓 (V)
0~150
工作溫度范圍 (℃)
-20~80
外型尺寸 A×C (mm)
60×50
80×70
100×90
外型尺寸 K×J (mm)
22×24.5
23×26.5
運(yùn)動(dòng)部分 B×D (mm)
30×30
45×45
70×70
運(yùn)動(dòng)部分 E×F (mm)
22×22
38×38
60×60
運(yùn)動(dòng)部分 G (mm)
27.5
40
48
安裝尺寸 M×L (mm)
4.5×8
4.5×10
安裝尺寸 I
M4
開(kāi)環(huán)工作臺(tái)匹配電源型號(hào):HPV-1C0150A0500;閉環(huán)工作臺(tái)匹配電源型號(hào):PPC-1CR0150
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一維直驅(qū)式工作臺(tái)
該系列微動(dòng)工作臺(tái)通過(guò)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)無(wú)間隙無(wú)耦合的微位移傳動(dòng),具有沿X軸方向的一維運(yùn)動(dòng),行程從10μm至50μm。該系列微動(dòng)臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制,并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動(dòng)臺(tái)
主要參數(shù) (nm)
MPT-1DN/RL010
MPT-1DN/RL025
MPT-1DN/RL050
運(yùn)動(dòng)自由度
X
X
X
行程范圍
(μm±10%)
10
25
50
位移分辨率
(nm)
1
2.5
5
重復(fù)定位精度
(nm)
-/10
-/25
-/50
運(yùn)動(dòng)方向大推力
(N)
1000
1000
1000
運(yùn)動(dòng)方向大拉力
(N)
30
70
100
大負(fù)載
(Kg)
2.5
2.5
1.5
固有頻率
(Hz)
1450
900
400
重量
(g±5%)
200
280
700
工作電壓
(V)
0~150
0~150
0~150
工作溫度范圍
(℃)
-20~80
-20~80
-20~80
外型尺寸 A×C
(mm)
60×50
80×70
100×90
外型尺寸 K×J
(mm)
22×24.5
22×24.5
23×26.5
運(yùn)動(dòng)部分 B×D
(mm)
30×30
45×45
70×70
運(yùn)動(dòng)部分 E×F
(mm)
22×22
38×38
60×60
運(yùn)動(dòng)部分 G
(mm)
27.5
40
48
安裝尺寸 M×L
(mm)
4.5×8
4.5×8
4.5×10
安裝尺寸 I
M4
M4
M4
開(kāi)環(huán)工作臺(tái)匹配電源型號(hào):HPV-1C0150A0500;閉環(huán)工作臺(tái)匹配電源型號(hào):PPC-1CR0150