粉體石英腔體等離子清洗機(jī)

PT-5SM型是雙路氣體輸入，
腔體材質(zhì)：    石英
供電電源： AC220V
工作電流： 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 0-200W可調(diào)
射頻頻率： 20.0MHz（偏移量小于0.2KHz）
頻率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動(dòng)匹配
真空度： 1pa-30Pa
氣體路數(shù)： 雙路氣體輸入
氣體流量： 10—100ml/min(可調(diào))
過程控制： PLC人機(jī)界面自動(dòng)與手動(dòng)方式
清洗時(shí)間： 1-99999秒鐘可調(diào)
功率大小 10%-可調(diào)
內(nèi)腔尺寸 直徑150mm×270mm PT-5SM 容量5L
外形尺寸： PT-5SM型_600mmx500x480mm
重量： 45Kg
真空泵： 抽速4L/S 
真空室溫度： 小于30°C
冷卻方式： 強(qiáng)制風(fēng)冷