直線電機(jī)平臺(tái)

特點(diǎn)：

直線電機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、功率損耗小、快移速度高、加速度高、結(jié)構(gòu)簡單，定位精度高、反應(yīng)速度快、靈敏度高， 隨動(dòng)性好、工作安全可靠、壽命長、運(yùn)動(dòng)噪聲低等優(yōu)點(diǎn)。

應(yīng)用范圍：

主要面向半導(dǎo)體制造,電子制造設(shè)備，生物制藥，機(jī)械加工設(shè)備等高精度定位、檢測場合。

氣浮平臺(tái)

特點(diǎn)：

靜壓氣浮導(dǎo)軌具有摩擦小、發(fā)熱量小、壽命長、精密度高、無污染、無輻射等優(yōu)點(diǎn),直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)具有無接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點(diǎn)

應(yīng)用范圍：

主要面向半導(dǎo)體制造,電子制造設(shè)備，生物制藥，、航空、航天工業(yè)等高精度定位、檢測場合。

音圈電機(jī)平臺(tái)

特點(diǎn)：

結(jié)構(gòu)簡單、體積小、高速、高加速、高頻率、響應(yīng)快等特性。

應(yīng)用范圍：

主要應(yīng)用于教學(xué)研發(fā)、醫(yī)療、半導(dǎo)體、航空、航天工業(yè)、汽車、激光技術(shù)、軍工武器等技術(shù)領(lǐng)域。