特點(diǎn)
量程:0.001~760 托(0.13~101K 帕) ?響應(yīng)時(shí)間:小于 2 毫秒 ?功耗:小于 5mW(10Hz 喚醒頻率) ?利用差分結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)內(nèi)部溫度補(bǔ)償(依賴于 實(shí)際應(yīng)用電路) ?可以浸泡于溶液中清洗,延長(zhǎng)使用壽命 應(yīng)用 ? ? 密閉真空系統(tǒng)的泄漏檢測(cè) ?真空包裝機(jī) ?便捷式數(shù)字真空計(jì) 極限條件 ? ?工作溫度:-25~85℃ ? ?存儲(chǔ)溫度:-40~90℃ ?機(jī)械沖擊:100g 峰值(5 次跌落,3 軸)
博思發(fā)科技公司的PVC3000系列MEMS熱電堆真空傳感器提供了突破性的真空測(cè)量解決方案。通過(guò)這個(gè)方案,可以測(cè)量從1mTorr(0.13Pa)到標(biāo)準(zhǔn)大的壓力(760Tor,101KPa)的量程。顯然,皮拉尼真空度傳感器的測(cè)量上限只能達(dá)到30Torr。壓阻式壓力傳感器不能測(cè)量低于10Torr的真空度。在昂貴的電容壓力傳感器的測(cè)量下,限制也只有0.1Torr。PVC3000系列傳感器可以同時(shí)取代上述幾種傳感器。
PVC3000系列傳感器,目前為客戶提供兩種包裝形式。PVC3001封裝在TO5。PVC3004封裝在TO46封裝。
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特點(diǎn)
量程:0.001~760 托(0.13~101K 帕)
?響應(yīng)時(shí)間:小于 2 毫秒
?功耗:小于 5mW(10Hz 喚醒頻率)
?利用差分結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)內(nèi)部溫度補(bǔ)償(依賴于
實(shí)際應(yīng)用電路)
?可以浸泡于溶液中清洗,延長(zhǎng)使用壽命
應(yīng)用 ?
? 密閉真空系統(tǒng)的泄漏檢測(cè)
?真空包裝機(jī)
?便捷式數(shù)字真空計(jì)
極限條件 ?
?工作溫度:-25~85℃ ?
?存儲(chǔ)溫度:-40~90℃
?機(jī)械沖擊:100g 峰值(5 次跌落,3 軸)
博思發(fā)科技公司的PVC3000系列MEMS熱電堆真空傳感器提供了突破性的真空測(cè)量解決方案。通過(guò)這個(gè)方案,可以測(cè)量從1mTorr(0.13Pa)到標(biāo)準(zhǔn)大的壓力(760Tor,101KPa)的量程。顯然,皮拉尼真空度傳感器的測(cè)量上限只能達(dá)到30Torr。壓阻式壓力傳感器不能測(cè)量低于10Torr的真空度。在昂貴的電容壓力傳感器的測(cè)量下,限制也只有0.1Torr。PVC3000系列傳感器可以同時(shí)取代上述幾種傳感器。
另外,PVC3000具有速響應(yīng)時(shí)間(不過(guò)2mSec)、低功耗(典型值:45mW)的特點(diǎn)。通過(guò)休眠的手段,功耗可以進(jìn)一步降低。例如,如果將休眠觸發(fā)設(shè)置為10Hz,則功耗可以降低到5mW。PVC3000可以將一個(gè)傳感器暴露在真空中(作為測(cè)量單元),同時(shí)將另一個(gè)傳感器放置在大氣環(huán)境中(作為參考單元)。這種差別結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)內(nèi)部溫度補(bǔ)償,排除其他可能導(dǎo)致傳感器漂移的環(huán)境因素,實(shí)現(xiàn)良好的重復(fù)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
PVC3000采用博思發(fā)第二代導(dǎo)熱傳感器芯片(PTCD20),利用氣體導(dǎo)熱率與該氣體真空度成正比的原理設(shè)計(jì)。
PVC3000系列傳感器,目前為客戶提供兩種包裝形式。PVC3001封裝在TO5。PVC3004封裝在TO46封裝。