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MDPlinescan 在線(xiàn)晶圓片晶錠點(diǎn)掃或面掃檢測(cè)

價(jià)格
電議

型號(hào)
MDPlinescan

品牌

所在地
暫無(wú)

更新時(shí)間
2023-06-07 08:48:02

瀏覽次數(shù)

    應(yīng)用范圍:靈活的OEM設(shè)備,用于多種不同樣品的在線(xiàn)壽命測(cè)量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過(guò)程控制。標(biāo)準(zhǔn)軟件接口,易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。

    在線(xiàn)面掃和單點(diǎn)檢測(cè)

    MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元,可集成到各種自動(dòng)化的檢測(cè)線(xiàn)。關(guān)鍵的測(cè)量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描。
    樣品通常由測(cè)量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來(lái)輸送。應(yīng)用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測(cè),每個(gè)晶圓的測(cè)量速度小于一秒。
    電池生產(chǎn)線(xiàn)上的來(lái)料質(zhì)量檢查是*常用的一種應(yīng)用方向,同樣,鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

    MDPlinescan


    MDPlinescan


    還有許多其他的專(zhuān)門(mén)應(yīng)用可能性。由于其易于集成,只需要以太網(wǎng)連接和電源。

    特性

    允許單片調(diào)查
    配方的基礎(chǔ)測(cè)量
    監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性
    優(yōu)勢(shì)
    μ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測(cè)量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個(gè)工具的重點(diǎn)。
    用于集成在生產(chǎn)線(xiàn)的多晶或單晶硅晶圓在不同的準(zhǔn)備階段,直到設(shè)備,磚或錠。
    小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)化接口使集成變得容易。重點(diǎn)是長(zhǎng)時(shí)間的可靠性和測(cè)量結(jié)果的精度。

    MDPlinescan

    MDPlinescan



    技術(shù)參數(shù)

    樣品

    多晶或單晶晶圓原料, 晶錠,晶胞

    樣品尺寸

    大約50 x 50 mm2

    電阻率

    0.2 - 103 Ohm cm

    conduction type

    p, n

    材質(zhì)

    硅晶圓,部分或完全加工的晶圓,復(fù)合半導(dǎo)體等

    測(cè)量屬性

    載流子壽命

    硬件接口

    ethernet

    大小

    174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg

    電源

    24 V DC, 2 A


    以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),儀器儀表交易網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
    溫馨提示:為規(guī)避購(gòu)買(mǎi)風(fēng)險(xiǎn),建議您在購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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