HORIBA蒸汽濃度監(jiān)測(cè)儀IR-322MA北崎華北區(qū)經(jīng)銷

2025/02/13 11:59:04

IR-300

蒸汽濃度監(jiān)測(cè)儀

金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）工藝廣泛應(yīng)用于發(fā)光二極管、光學(xué)器件和其他組建的制造。通過控制溫度、壓力和載氣流速（鼓泡法），液體和固體化學(xué)品被輸送到反應(yīng)室。IR-300 系列可實(shí)時(shí)測(cè)量和報(bào)告化學(xué)品濃度，為用戶帶來以下優(yōu)勢(shì)：

優(yōu)化制程控制，生產(chǎn)更多高級(jí)器件
提高器件成品率并減少?gòu)U料
提高再現(xiàn)性
了解何時(shí)需要更換鼓泡器
延長(zhǎng) MTTA
減少非計(jì)劃干預(yù)
減少高價(jià)值的化學(xué)品浪費(fèi)

事業(yè)部: 半導(dǎo)體

產(chǎn)品分類: 干法制程控制

制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
快速響應(yīng)和*的重復(fù)性允許實(shí)時(shí)跟蹤蒸汽濃度的變化
多重校準(zhǔn)曲線功能（可選）
允許測(cè)量多達(dá) 3 種化學(xué)品或量程的濃度
多重顯示功能
IR-300 設(shè)備頂部的多重顯示功能為用戶提供了濃度監(jiān)測(cè)和前驅(qū)體供應(yīng)管線狀態(tài)的現(xiàn)場(chǎng)檢查能力
通信功能
通過 DeviceNet?、RS485 和模擬通信連接
設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單緊湊
該設(shè)備的面對(duì)面尺寸為 124 毫米，設(shè)計(jì)緊湊且不受安裝方向限制，易于集成

高光強(qiáng)和長(zhǎng)壽命光源與高速信號(hào)處理相結(jié)合，使 IR-300 系列能夠?qū)瘜W(xué)品濃度的變化做出更快、更可重復(fù)的響應(yīng)。這些特性通過實(shí)時(shí)在線濃度測(cè)量，讓用戶真正了解實(shí)際制程。

MOCVD 化學(xué)品的測(cè)量示例

■實(shí)驗(yàn)流程圖

IR-300_flow

■監(jiān)測(cè)化學(xué)品濃度變化

以下是實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)供應(yīng)化學(xué)品濃度的示例，化學(xué)品濃度因背壓調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)鼓泡器中的壓力而改變。

測(cè)量技術(shù)

可靠、高性能
非分散紅外吸收法（NDIR）

IR-300 系列采用的紅外吸收法利用測(cè)量紅外光源發(fā)出的紅外光中氣體分子吸收的原理。將吸收了被測(cè)氣體的樣品輸出與無吸光度的參考輸出進(jìn)行對(duì)比，并將結(jié)果轉(zhuǎn)換成氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長(zhǎng)期穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果。

光學(xué)系統(tǒng)由光源、氣室和雙光束檢測(cè)器組成。雙光束檢測(cè)器的穩(wěn)定性已得到 40 多年的驗(yàn)證。

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