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日本EnergysTF-30D201氧氣分析儀測量范圍*小0-100ppm北崎有售
2025/01/18 16:19:40
TF-21D201/SH-30 系列
TF-21型?センサ / DTF-201型?受信器
SH-304型
センサ、受信器の分離可能
軽量、コンパクト 裝置への組込み可能
低濃度(0-10ppmレンジ対応)
TF-21型?センサ / DTF-201型?受信器
SH-304型
用?途
半導(dǎo)體製造裝置:拡散爐?RTP?各種N2爐內(nèi)雰囲気測定、空気分離裝置
仕?様
形?式 | TF-21D201(TF-21型センサ+DTF-201型受信器) | |
---|---|---|
センサ | TF-21 | |
受信器 | DTF-201 | |
測定原理 | ジルコニア濃淡電池方式 | |
測定レンジ | Min.0-10ppm ~ MAX.0-100%?ゼロ點(diǎn)固定で任意の4レンジ選択可能 | |
校?正 | エア點(diǎn) + MAX.4點(diǎn)校正可能 | |
出?力 | DC4~20mA × 1點(diǎn)(非絶縁出力、負(fù)荷抵抗600Ω以下) DC0~1V or DC0~5V or DC0~10V × 1點(diǎn)選択(非絶縁出力) | |
サンプルガス? 校正ガス流量 | 0.5±0.02L/min. | |
精?度 | 繰返し性 | ±1%FS(0~1%レンジ未満)?±0.5%FS(0~1%レンジ以上) |
直線性 | ±1%FS(0~1%以上)±2%FS(0~1%未満)?±3%FS(0~100ppm未満) | |
応答時(shí)間 | 0-1%以上:10秒以下?0-1%未満:30秒以下?※校正ガス切替による90%応答 | |
ドリフト | ±2%FS/週 以下 | |
供給電源 | AC85~132V?※オプション:AC170~264V、DC24V±10% | |
接點(diǎn)入力 (無電圧接點(diǎn)入力) | レンジ切替入力 | |
觸點(diǎn)輸出 (集電極開路輸出,25 VDC,* 50 mA NO/NC 可切換) | 分析儀 異常 范圍 回聲 回聲(2 個(gè)量程識(shí)別) 范圍 回聲回聲(3 個(gè)量程識(shí)別) READY 濃度上限 警報(bào)(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) 濃度下 限警報(bào)(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) * 可從上述選項(xiàng)中選擇 4 個(gè)點(diǎn),并可以更改設(shè)置。 | |
范圍切換 | 本地范圍切換 / 遠(yuǎn)程范圍切換 / 自動(dòng)范圍切換 * 可以從以上選擇和更改 | |
輸出 HOLD 設(shè)置 | 無 或 任意 值或 HOLD 在異常發(fā)生前 5 秒的值 * 預(yù)熱、傳感器和接收器異常時(shí) HOLD | |
濃度上限和下限警報(bào) | 上限警報(bào):0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警報(bào):0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
RS232C 通訊功能 | 傳輸測量狀態(tài)、錯(cuò)誤代碼、測量范圍和測量值 通信電纜規(guī)格:直線電纜 |
形式 | SH-304 型 | |
---|---|---|
傳感器 | TF-21 系列 | |
接收器 | DTF-201 系列 | |
測量原理 | 氧化鋯燈罩電池工法 | |
測量范圍 | 0-10 / 100 / 1,000ppm, 0-* **小 0-10ppm ~ * 0-* 零點(diǎn)固定,可任意 4 個(gè)范圍 | |
校對(duì) | 空氣點(diǎn) + MAX.4 點(diǎn)校準(zhǔn) | |
強(qiáng)度 | DC4~20mA × 1點(diǎn)(非隔離輸出,負(fù)載電阻600Ω以下) DC0~1V × 1點(diǎn)(非隔離輸出) | |
樣氣 / 校準(zhǔn)氣體流速 | 0.3±0.05 升/分鐘 | |
準(zhǔn)確性 | 重復(fù)性 | ±1%FS (小于 0~1% 范圍) ±0.5%FS (高于 0~1% 范圍) |
線性 | ±3%FS (小于 0~100ppm) ±2%FS (小于 0~1%) ±4%FS (0~1% 或更高) | |
響應(yīng)時(shí)間 | 0-1% 或更高:10 秒或更短 0-1% 或更短:30 秒或更短 * 校準(zhǔn)氣體切換時(shí)響應(yīng) 90% | |
漂移 | ±2%FS/周或更低 | |
電源 | 直流24V±10% | |
輸入 (非電壓觸點(diǎn)輸入) | 范圍切換輸入 | |
觸點(diǎn)輸出 (集電極開路輸出,25 VDC,* 50 mA NO/NC 可切換) | 分析儀異常 READY 濃度上限警報(bào) (0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) 濃度 下限警報(bào)(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) 范圍 回聲(2 個(gè)范圍識(shí)別) 范圍回顯(3 范圍識(shí)別) * 前 4 項(xiàng)是標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng),后 2 項(xiàng)也可以更改。 | |
范圍切換 | 自動(dòng)量程切換 * 也可以選擇遠(yuǎn)程范圍和本地范圍切換,并且可以更改設(shè)置。 | |
輸出 HOLD 設(shè)置 | HOLD 在異常發(fā)生前 5 秒的值 * HOLD * 傳感器和接收器異常時(shí)保持 * 無 HOLD,任何值都可以選擇 HOLD。 | |
濃度上限和下限警報(bào) | 上限警報(bào):0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警報(bào):0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
RS232C 通訊功能 | 傳輸測量狀態(tài)、錯(cuò)誤代碼、測量范圍和測量值 通信電纜規(guī)格:直線電纜 |
TF-30/SH-20 系列
TF-30 傳感器 / DTF-201 接收器
SH-204-AW 系列
可分離的傳感器和接收器
重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊 可集成到設(shè)備中
標(biāo)準(zhǔn)氣體,無需參考空氣(可進(jìn)行 1 點(diǎn)空氣校準(zhǔn))
TF-30 傳感器 / DTF-201 接收器
型號(hào) SH-204-CW
用法
回流爐
鐵氧體燒成爐
其他氣氛控制和燃燒管理應(yīng)用
規(guī)格
形式 | TF-30D201 (TF-30 傳感器 + DTF-201 接收器) | |
---|---|---|
傳感器 | TF-30 系列 | |
接收器 | DTF-201 系列 | |
測量原理 | 氧化鋯 2 單元泵系統(tǒng) | |
測量范圍 | *小 0-100ppm ~ * 0-25% 零點(diǎn)固定,可選擇 4 個(gè)量程 *25%?2 或更高無法測量。 | |
校對(duì) | 帶校準(zhǔn)氣體的空氣點(diǎn) + * 3 點(diǎn)校準(zhǔn) 空氣 1 點(diǎn)校準(zhǔn)(0-1,000 ppm 或更高) 通過 DATA 輸入校準(zhǔn) (0-1,000 ppm 或更高,更換傳感器時(shí)) | |
強(qiáng)度 | DC4~20mA × 1 點(diǎn)(非隔離輸出,負(fù)載電阻 600Ω 以下) DC0~1V 或 DC0~5V 或 DC0~10V × 1 點(diǎn)選擇(非隔離輸出) | |
樣氣 / 校準(zhǔn)氣體流速 | 0.5±0.1 升/分鐘 | |
準(zhǔn)確性 | 重復(fù)性 | ±1%FS |
線性 | ±2%FS | |
響應(yīng)時(shí)間 | 0-1,000 ppm 或更高:30 秒或更短 0-1,000 ppm:60 秒或更短 * 校準(zhǔn)氣體切換時(shí)響應(yīng) 90% | |
漂移 | ±2%FS/周或更低 | |
電源 | AC85~132V *選項(xiàng):AC170~264V,DC24V±10% | |
輸入 (非電壓觸點(diǎn)輸入) | 范圍切換輸入 | |
觸點(diǎn)輸出 (集電極開路輸出,25 VDC,* 50 mA NO/NC 可切換) | 分析儀 異常 范圍 回聲 回聲(2 個(gè)量程識(shí)別) 范圍 回聲回聲(3 個(gè)量程識(shí)別) READY 濃度上限 警報(bào)(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) 濃度下 限警報(bào)(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) * 可從上述選項(xiàng)中選擇 4 個(gè)點(diǎn),并可以更改設(shè)置。 | |
范圍切換 | 本地范圍切換 / 遠(yuǎn)程范圍切換 / 自動(dòng)范圍切換 * 可以從以上選擇和更改 | |
輸出 HOLD 設(shè)置 | 無 或 任意 值或 HOLD 在異常發(fā)生前 5 秒的值 * 預(yù)熱、傳感器和接收器異常時(shí) HOLD | |
濃度上限和下限警報(bào) | 上限警報(bào):0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警報(bào):0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
RS232C 通訊功能 | 傳輸測量狀態(tài)、錯(cuò)誤代碼、測量范圍和測量值 通信電纜規(guī)格:直線電纜 |
形式 | SH-204-CW 型 | |
---|---|---|
傳感器 | TF-30 系列 | |
接收器 | DTF-201 系列 | |
測量原理 | 氧化鋯 2 單元泵系統(tǒng) | |
測量方法 | 噴射抽吸型(也可提供內(nèi)置泵的型號(hào)) | |
測量范圍 | *小 0-100ppm ~ * 0-* 零點(diǎn)固定,可選擇 4 個(gè)范圍,*25%?2 或更高無法測量。 | |
校對(duì) | 帶校準(zhǔn)氣體的空氣點(diǎn) + * 3 點(diǎn)校準(zhǔn) 空氣 1 點(diǎn)校準(zhǔn)(0-1,000 ppm 或更高) 通過 DATA 輸入校準(zhǔn) (0-1,000 ppm 或更高,更換傳感器時(shí)) | |
強(qiáng)度 | DC4~20mA × 1 點(diǎn)(非隔離輸出,負(fù)載電阻 600Ω 以下) DC0~1V 或 DC0~5V 或 DC0~10V × 1 點(diǎn)選擇(非隔離輸出) | |
樣氣 / 校準(zhǔn)氣體流速 | 0.5±0.1 升/分鐘 | |
準(zhǔn)確性 | 重復(fù)性 | ±1%FS |
線性 | ±5%FS | |
響應(yīng)時(shí)間 | 0-1,000 ppm 或更高:30 秒或更短 0-1,000 ppm:60 秒或更短 * 校準(zhǔn)氣體切換時(shí)響應(yīng) 90% | |
漂移 | ±2%FS/周或更低 | |
電源 | AC100~240V±10% 50/60Hz | |
輸入 (非電壓觸點(diǎn)輸入) | 范圍切換輸入 | |
觸點(diǎn)輸出 (集電極開路輸出,25 VDC,* 50 mA NO/NC 可切換) | 分析儀 異常 范圍 回聲 回聲(2 個(gè)量程識(shí)別) 范圍 回聲回聲(3 個(gè)量程識(shí)別) READY 濃度上限 警報(bào)(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) 濃度下 限警報(bào)(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) * 可從上述選項(xiàng)中選擇 4 個(gè)點(diǎn),并可以更改設(shè)置。 | |
范圍切換 | 本地范圍切換 / 遠(yuǎn)程范圍切換 / 自動(dòng)范圍切換 * 可以從以上選擇和更改 | |
輸出 HOLD 設(shè)置 | 無 或 任意 值或 HOLD 在異常發(fā)生前 5 秒的值 * 預(yù)熱、傳感器和接收器異常時(shí) HOLD | |
濃度上限和下限警報(bào) | 上限警報(bào):0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警報(bào):0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 |