CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000 氣體質(zhì)量流量計(jì) (用于氫氣和氦氣) CMS系列高可靠性氣體質(zhì)量流量計(jì),使用了山武公司新近開(kāi)發(fā)的微流量傳感器,這種傳感器是感熱式流量傳感單元。 小型結(jié)構(gòu)、高精度傳感器、高密度集成電路設(shè)計(jì)技術(shù)的結(jié)合使這種儀表具有精度高、量程比大,且成本低的優(yōu)點(diǎn)。
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CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000
氣體質(zhì)量流量計(jì)
(用于氫氣和氦氣)
CMS系列高可靠性氣體質(zhì)量流量計(jì),使用了山武公司新近開(kāi)發(fā)的微流量傳感器,這種傳感器是感熱式流量傳感單元。
小型結(jié)構(gòu)、高精度傳感器、高密度集成電路設(shè)計(jì)技術(shù)的結(jié)合使這種儀表具有精度高、量程比大,且成本低的優(yōu)點(diǎn)。