、 前言

過(guò)氧化氫在半導(dǎo)體行業(yè)起到非常關(guān)鍵的作用， 常常作為硅片清潔劑， 印刷電路板刻蝕劑以及處理金屬 雜質(zhì)。本次實(shí)驗(yàn)采用 JH-T7全自動(dòng)電位滴定儀依據(jù) GB/T 1616-2014  工業(yè)過(guò)氧化氫測(cè)定，測(cè)定某半導(dǎo)體上游 廠(chǎng)家的工業(yè)藥水中過(guò)氧化氫的含量， 用以驗(yàn)證電位滴定法檢測(cè)工業(yè)藥水中的過(guò)氧化氫方法是否可行。

二、儀器與試劑

2.1、儀器

JH-T7全自動(dòng)電位滴定儀， 復(fù)合鉑電極， 容量瓶， 分析天平等

2.2、試劑

c=0.1mol/L 的 KMnO4 標(biāo)準(zhǔn)滴定液， 硫酸溶液（20%） ， 去離子水

三、 實(shí)驗(yàn)方法

3.1、實(shí)驗(yàn)過(guò)程

用減重稱(chēng)量法準(zhǔn)確稱(chēng)取 1g 試樣（至 0.0001g)于滴定杯中，加入 50mL 去離子水，再加入 10mL20% 的硫酸溶液， 放置于滴定臺(tái)上， 啟動(dòng)事先編輯好的方法， 用高錳酸鉀滴定液進(jìn)行滴定， 同時(shí)做空白實(shí)驗(yàn)。

3.2、儀器參數(shù)如表所示：

表 1 過(guò)氧化氫測(cè)定滴定儀參數(shù)設(shè)置

四、結(jié)果與討論

4.1、實(shí)驗(yàn)結(jié)果

樣品經(jīng)測(cè)試， 得到實(shí)驗(yàn)結(jié)果如表 2 所示：

表 2  過(guò)氧化氫含量測(cè)定

4.2、滴定圖譜

1）樣品 0 滴定圖譜：

2）樣品 40 滴定圖譜：

                 3)樣品 98 滴定圖譜: 

4)樣品 100 滴定圖譜:

5) 樣品 150 滴定圖譜：

4.3、結(jié)論

本次測(cè)試通過(guò) JH-T7電位滴定儀測(cè)定工業(yè)水中過(guò)氧化氫含量， 數(shù)據(jù)重復(fù)性好， 而且使用儀器判斷減少 了人工誤差， 大大提高了實(shí)驗(yàn)的精度。并且可以一機(jī)多用， 大大節(jié)省了人力物力， 因此電位滴定法是該類(lèi) 樣品的不錯(cuò)選擇。