MX61/MX61L金相顯微鏡

考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)

主要操作集中配置在前面板上

 

前面板

[1] 照明強(qiáng)度旋鈕

[2] 物鏡倍率切換

[3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)

在對(duì)比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動(dòng)，用一個(gè)按鈕就可以操作。此外，用一個(gè)手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對(duì)焦手柄，只要輕動(dòng)大拇指就可以操作。這個(gè)按鈕的傾斜式設(shè)計(jì)提高了手指尖的感知度，能夠防止錯(cuò)誤操作。

觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒

 

傾斜鏡筒示意圖

為了適應(yīng)視點(diǎn)而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進(jìn)行檢查的話會(huì)浪費(fèi)時(shí)間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150                        mm，SEMIS8對(duì)應(yīng)）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點(diǎn)的距離，可以在較大的平臺(tái)上輕松操作。

高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置

 

內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄

對(duì)應(yīng)300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺(tái)有較大的透射照明范圍（Y方向284mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄，可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時(shí)能自由地移動(dòng)載物臺(tái)，快速完成檢查。

鮮明圖像和分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系

多種選擇可實(shí)現(xiàn)成像性能

物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件，奧林巴斯有應(yīng)對(duì)多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。

觀察影像實(shí)例

 

明視場觀察

 

 

暗視場觀察

 

 

微分干涉觀察

 

 

熒光觀察

 

 

軟件方案

實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像

MX61L配備了PC界面，可以讀取顯微鏡的電動(dòng)功能。因此，捕獲影像時(shí)可以自動(dòng)保存物鏡倍率，為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。

使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像

三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。

支持缺陷檢測的多種功能

快速切換物鏡，提高檢查速度

 

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場中心附近偏離。

變換物鏡，孔徑光闌（AS）也隨之調(diào)節(jié)

 

AS自動(dòng)調(diào)節(jié)示意圖

每次變換物鏡時(shí)都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌（AS）的話，會(huì)影響檢查速度。MX61L對(duì)每個(gè)物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS（14級(jí)），只要切換物鏡就能以合適的對(duì)比度進(jìn)行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時(shí)不再需要花時(shí)間調(diào)節(jié)AS，提高速度的同時(shí)減輕了操作員的疲勞。

幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件

安全快速的搬運(yùn)晶圓

 

自動(dòng)晶圓搬送機(jī)AL110（200 mm規(guī)格）組合

MX61L能與自動(dòng)晶圓搬送機(jī)組合，組合后的尺寸也被設(shè)計(jì)得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。

近紅外線觀察單元

由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線用廣角三目鏡筒等，對(duì)應(yīng)近紅外線的裝置備有各種型號(hào)。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。

 

近紅外線觀察單元

 

 

粘合襯墊

熒光觀察單元

在滑桿上追加鏡子裝置可以對(duì)應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。

 

熒光鏡單元

 

 

熒光觀察

 

 

透射照明單元

 

透射照明單元

對(duì)應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實(shí)現(xiàn)了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號(hào)和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號(hào)兩種型號(hào)。

MX61/MX61L金相顯微鏡技術(shù)參數(shù)：

半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡 規(guī)格			MX61L	MX61
光學(xué)系統(tǒng)			UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正）
機(jī)身	觀察方法		明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
	反射/透射		反射/透射
	照明裝置		機(jī)身一體型（明視場，暗視場＋1選件）
	照明系統(tǒng)	反射照明	100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
		透射照明	纖維光導(dǎo)
	對(duì)焦單元	電動(dòng)/手動(dòng)	手動(dòng)
		行程	32 mm
		分辨率/微調(diào)靈敏度	微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm
		樣本高度	30 mm
	物鏡轉(zhuǎn)換器	電動(dòng)型	明視場微分干涉6孔
			明暗視場微分干涉5孔
			明暗視場微分干涉6孔
			明暗視場微分干涉中心輸出5孔
		手動(dòng)式	-
載物臺(tái)	行程		14×12英寸右下手柄： 356（X）×305（Y）mm （透射照明范圍356×284 mm）	8×8 英寸右下手柄： 210（X）×210（Y）mm （透射照明范圍189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄： 158（X）×158（Y）mm
觀察筒	廣角視場 （視場數(shù)22）	倒置	雙目/三目觀察筒
		正像	三目觀察筒
	寬視場 （視場數(shù)26.5）	倒置	三目觀察筒
		正像	傾斜三目觀察筒
附件單元			IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載
外形尺寸			710（W）×843（D）×507（H）mm （標(biāo)準(zhǔn)組合）	509（W）×843（D）×507（H）mm （標(biāo)準(zhǔn)組合）
重量			51 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合）	40 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合）