應(yīng)用背景：

在精密加工、微機電系統(tǒng)、生物工程等領(lǐng)域迫切需要高精度的微運動系統(tǒng)其核心部件微驅(qū)動器是當前研究的熱點。在微運動具體實施過程中對微運動系統(tǒng)驅(qū)動器要求的主要參數(shù)有:運動范圍和運動精度、運動自由度、運動響應(yīng)。基于磁場同步跟隨的電磁懸浮式微驅(qū)動器，解決了懸浮驅(qū)動力與橫向力相互耦合的問題，可實現(xiàn)高精度微運動。

在微驅(qū)動器的設(shè)計制造階段，對運動精度和驗證是一個必要的環(huán)節(jié)。

解決方案：

KD-2306高精度位移傳感器，采用非接觸式測量，分辨率可以達到0.1μm。

高精度位移傳感器KD2306是KD2300的更新產(chǎn)品，高精度位移傳感器采用軌導(dǎo)DIN式結(jié)構(gòu)，具備的分辨率和速度性能（0.1um分辨率，50kHz高響應(yīng)），能滿足各種實際需求。而且還可選擇延長電纜、溫度補償?shù)忍厥庑枨蟆?/span>

高精度位移傳感器主要特點

◆   高分辨率和高采樣率；

◆   可自行調(diào)整零位、增益和線性；

◆   可選擇延長電纜、溫度補償?shù)裙δ埽?/p>

◆   可測鐵磁和非鐵磁所有金屬材料；

◆   具有多高精度位移傳感器同步功能；

不受潮濕、灰塵的影響，對環(huán)境要求低；

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