ULVAC愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵 UTM1200A

ULVAC愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵 UTM1200A

渦輪分子泵是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設(shè)備，廣泛用于半導(dǎo)體制造和研究設(shè)施。 該泵通過(guò)高速移動(dòng)分子來(lái)有效地產(chǎn)生真空。

渦輪分子泵由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和固定定子組成。 轉(zhuǎn)子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產(chǎn)生真空。 這個(gè)過(guò)程利用分子的動(dòng)能并且非常高效。

與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準(zhǔn)備真空環(huán)境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環(huán)境，非常適合半導(dǎo)體制造等精密工作，并且具有從低真空到高真空的廣泛適用性，并應(yīng)用于各種行業(yè)和研究領(lǐng)域。

這是一種渦輪分子泵，帶有一個(gè)使用磁浮軸承的獨(dú)立控制器。 我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號(hào)陣容。 控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。

這是一款帶有集成控制器的渦輪分子泵，該控制器使用磁浮軸承。

泵體和控制器的集成節(jié)省了布線和空間。

長(zhǎng)處

泵體與控制器一體化，

泵體與控制器之間無(wú)需繁瑣的布線。

自由安裝方向 由于對(duì)

安裝方向沒(méi)有限制，因此擴(kuò)大了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。

產(chǎn)品陣容包括抽速 1000L/s ~ 3000L/s 級(jí)。

適用于輕型工藝的廣域高流量設(shè)計(jì)

可在泵速的 25 ~ * 范圍內(nèi)改變變

速，并可調(diào)節(jié)腔室壓力。

高耐用性和安全性 它已通過(guò)各種安全確認(rèn)測(cè)試，例如

大氣進(jìn)入測(cè)試和著陸測(cè)試。

用

各種設(shè)備的

真空主排氣系統(tǒng) - 半導(dǎo)體制造設(shè)備

- 氣相沉積設(shè)備

- 濺射設(shè)備

- 分析設(shè)備，實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等

- 研發(fā)設(shè)施

輕工藝主排氣系統(tǒng)，無(wú)副反應(yīng)產(chǎn)物

用油擴(kuò)散泵更換設(shè)備

其他高真空排氣應(yīng)用