±高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，保證 1% S.P.。

Lintec 的環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)高精度流量測量。 它抑制了由于傳感器受熱而隨時間推移而引起的劣化，即使在臭氧等高度可降解的氣體下也能實(shí)現(xiàn)流量控制。

作為選件，高性能、全能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，可用于液化氣、微流量 F.S.、寬范圍、表面到面對面和接頭規(guī)格。

高性能質(zhì)量流量控制器 [MC-3000L]高性能質(zhì)量流量控制器

長處

選擇

  • 微流量 F.S.
  • 與液化氣兼容
  • 寬

使用示例

半導(dǎo)體制造前端工藝

由于 CVD（化學(xué)氣相沉積）ALD 沉積設(shè)備和蝕刻設(shè)備中使用了高反應(yīng)性氣體，因此必須采用具有高耐腐蝕性的金屬密封的氣體質(zhì)量流量控制器。

此外，在常溫常壓下，前驅(qū)體中含有大量的液化氣體，因此具有耐熱溫度和難以再液化的閥門結(jié)構(gòu)很重要。 MC-3000L 高精度質(zhì)量流量控制器可選擇支持液化氣體，*工作溫度為 50°C（可選 55°C）。

分析器

可能需要分析儀來控制微小流速，但一般質(zhì)量流量控制器的*小 F.S. 為 5 SCCM，這無法控制微小流速。 MC-3000L 高精度質(zhì)量流量控制器可選擇 F.S.1 SCCM 或更低規(guī)格制造。 請聯(lián)系我們了解詳情。

此外，MC-3000L 高精度質(zhì)量流量控制器標(biāo)配小死體積隔膜閥。

規(guī)格表

溫度 *小壓差 *壓差 精度 控制范圍 *低 F.S. 馬克斯 FS 密封
5~50°C 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~*滿量程 5SCCM 400SLM 金

* 規(guī)格表是具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過 options 進(jìn)行更改。