三坐標測量機 LEGEX
主體基座采用球墨鑄鐵的封閉式結(jié)構(gòu),實現(xiàn)了高剛性、高振動衰減性。還運用FEM構(gòu)造分析模擬應力分析,將負重形變量降低到較低程度,確保幾何學動態(tài)精度。
開發(fā)了Y軸導軌與主體基座一體化結(jié)構(gòu)。
Y軸導軌,X軸橫梁,Z軸主軸滑動部分進行陶瓷–等離子噴涂處理,形成空氣軸承滑動適合的表面。實現(xiàn)了耐銹蝕性和抗腐蝕性。
LEGEX的主體結(jié)構(gòu)快速衰減移動時的殘留振動,大幅度減少因振蕩產(chǎn)生的波動幅度。
X軸和Y軸是獨立的構(gòu)造,X軸的移動對Y軸導軌沒有任何影響。
LEGEX通過“如果橋式結(jié)構(gòu)移動產(chǎn)生誤差,讓橋結(jié)構(gòu)不移動就好了”的逆向構(gòu)思,大幅度控制阿貝誤差采用了橋固定工作臺移動結(jié)構(gòu)。
標配的高性能帶有自動調(diào)水平功能的“空氣阻尼彈簧減振器”。
驅(qū)動由滾珠絲桿+DC伺服電機來進行,采用了一個特殊的浮動機構(gòu)以鏈接滾珠絲杠與導向塊。
配置新開發(fā)的無熱膨脹的線膨脹系數(shù)0.1x10-6/攝氏度的結(jié)晶玻璃尺,與分辨力為0.01微米的發(fā)射型編碼器相結(jié)合的高精度測長單元。
確保18至22攝氏度的溫度范圍內(nèi)的精度。
規(guī)格參數(shù)
型號
LEGEX 574
LEGEX 774
LEGEX 776
LEGEX 9106
測量范圍
X軸
500mm
700mm
900mm
Y軸
700mm
1000mm
Z軸
450mm
600mm
測長單元
線性編碼器
驅(qū)動速度
200mm/s
驅(qū)動加速度
980mm/s2
分辨力
0.00001mm
導向方式
空氣軸承
測量工作臺
材質(zhì)
鑄鐵
大小
550×750mm
750×750mm
950×1050mm
測量工件
高度
700mm
850mm
質(zhì)量
250kg
500kg
800kg
設備質(zhì)量
(含安裝臺、控制器/不含工件)
3500kg
5000kg
5100kg
6500kg
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初項可達0.28微米的三坐標測量機。